La microscopie d’émission, appliquée aux microcircuits, permet de détecter et d’analyser l’émission de lumière (généralement sous forme de rayonnement infrarouge ou visible) provenant de la surface d’un microcircuit. Ces émissions résultent de divers processus, tels que l’activité électrique ou les effets thermiques, et sont particulièrement utiles pour la détection et le diagnostic des défauts au sein des microcircuits.
Principales applications de la microscopie d’émission dans l’analyse des microcircuits
- Détection des défauts : La microscopie d’émission permet d’identifier des défauts invisibles avec des méthodes d’inspection optique classiques. En détectant des émissions lumineuses inhabituelles, les ingénieurs peuvent localiser les zones où se produisent des pannes électriques, des courts-circuits ou d’autres anomalies.
- Détection des points chauds (« hotspots ») : Dans les dispositifs semi-conducteurs, certaines zones peuvent surchauffer en raison d’un courant excessif ou d’une mauvaise dissipation thermique. La microscopie d’émission permet d’identifier ces points chauds en détectant le rayonnement infrarouge émis par les zones à températures élevées, facilitant ainsi l’identification des points de défaillance potentiels.
- Localisation des pannes : Lorsqu’un microcircuit présente un dysfonctionnement, la microscopie d’émission permet d’isoler précisément l’emplacement du défaut. Grâce à des images haute résolution des émissions de certaines parties du circuit, il devient plus facile d’identifier le composant ou le circuit en panne.
- Caractérisation électrique : Cette technique peut aussi être utilisée pour évaluer les performances électriques des microcircuits. En surveillant les émissions lumineuses associées au passage du courant, il est possible d’analyser en temps réel le bon fonctionnement du circuit.
La microscopie d’émission est une méthode précieuse car elle permet une analyse non invasive et en temps réel du comportement des microcircuits. Elle joue un rôle clé dans le développement et le dépannage des semi-conducteurs, en offrant une vision détaillée des performances et des éventuels défauts des composants électroniques.
