La spectroscopie dispersive en énergie (EDS) est une technique analytique utilisée pour identifier la composition élémentaire des matériaux. Elle fonctionne en détectant les rayons X émis par un échantillon lorsqu’il est bombardé par un faisceau d’électrons focalisé, généralement à l’intérieur d’un microscope électronique à balayage (SEM) ou d’un microscope électronique à transmission (TEM).
Voici un aperçu de base du fonctionnement de l’EDS :
- Interaction du faisceau d’électrons : Lorsque le faisceau d’électrons frappe l’échantillon, il éjecte des électrons des atomes du matériau, créant des vides dans leurs couches électroniques.
- Émission de rayons X : Pour combler ces vides, des électrons provenant de niveaux d’énergie supérieurs dans l’atome tombent dans des niveaux d’énergie inférieurs, libérant de l’énergie sous forme de rayons X.
- Détection de l’énergie : L’énergie de ces rayons X est caractéristique des éléments présents dans l’échantillon. Le détecteur EDS capture les rayons X émis et les analyse pour générer un spectre.
- Identification des éléments : Chaque pic dans le spectre correspond à un élément spécifique, permettant une analyse qualitative et quantitative de la composition de l’échantillon.
L’EDS est largement utilisé dans les sciences des matériaux, la géologie, la biologie et la chimie pour des applications telles que :
- Cartographie élémentaire
- Caractérisation des revêtements de surface et des films minces
- Identification des contaminants
- Étude de la distribution des éléments dans des matériaux hétérogènes
