Un Faisceau d’Ions Focalisé (FIB) est un outil sophistiqué utilisé principalement pour l’imagerie, le fraisage et la modification des matériaux à l’échelle microscopique. Il fonctionne en dirigeant un faisceau fin d’ions chargés (généralement du gallium) sur un échantillon. Les ions interagissent avec la surface du matériau, provoquant des changements physiques comme l’enlèvement ou la modification du matériau. Cela est utile pour des tâches telles que la préparation d’échantillons, l’édition de circuits et même la nano-fabrication.
Les principales applications du FIB incluent :
- Microscopie : Le FIB peut être utilisé en conjonction avec des microscopes électroniques à balayage (SEM) pour fournir des images à haute résolution à l’échelle nanométrique.
- Fraisage des matériaux : Le faisceau d’ions peut fraiser des couches minces de matériau, ce qui est souvent utilisé pour préparer des sections transversales ou créer des caractéristiques spécifiques sur un échantillon.
- Modification des échantillons : Le FIB peut également déposer du matériau sur une surface (dépôt par faisceau d’ions), permettant des modifications localisées à l’échelle nanométrique.
- Analyse de défaillance : Les ingénieurs utilisent le FIB pour couper des dispositifs, tels que des circuits intégrés, afin d’examiner les structures internes sans endommager l’ensemble du composant.
Le FIB est un outil de haute précision, capable de fonctionner à des résolutions aussi petites que quelques nanomètres, ce qui en fait une technologie indispensable dans des domaines tels que la fabrication de semi-conducteurs, la science des matériaux et la nanotechnologie.
